痕量級(jí)多組分氣體分析儀

概述

痕量級(jí)雜質(zhì)氣體比如烴類、H₂O、CO、CO₂、NOx、N₂、H2S等會(huì)對(duì)高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體的生產(chǎn)帶來危害，長(zhǎng)期存在會(huì)損壞生產(chǎn)設(shè)備和影響生產(chǎn)質(zhì)量，甚至對(duì)使用高純氣體的裝備帶來致命威脅。杜克泰克公司的DKF10型痕量級(jí)多組分氣體分析儀專門專業(yè)監(jiān)測(cè)并分析ppm微量級(jí)、ppb超微量級(jí)雜質(zhì)氣體。

痕量級(jí)多組分氣體分析儀

原理

DKF10多氣體分析儀基于紅外光聲光譜技術(shù)，擁有脈沖紅外光源，通過窄帶光學(xué)濾波片，形成中紅外區(qū)10個(gè)光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于擁有增強(qiáng)懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)，可通過10種光學(xué)窄帶濾波片實(shí)現(xiàn)，極窄的光學(xué)濾波可去除背景氣體的干擾；多個(gè)光譜區(qū)域可有利于小的交叉靈敏度。對(duì)采樣響應(yīng)結(jié)果按照改進(jìn)的經(jīng)典小二乘法進(jìn)行數(shù)據(jù)校準(zhǔn)。

光聲光譜技術(shù)可實(shí)現(xiàn)短光路光程的高靈敏度測(cè)量，更進(jìn)一步提高了非線性補(bǔ)償技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)寬量程可達(dá)5級(jí)的線性動(dòng)態(tài)量程比。

氣體：

烴類：CH₄、C₂H₆、C₂H₂、C₂H₄等

無機(jī)氣體：CO₂、CO、N₂O、SO₂、NO、NO_2、NH₃、NF₃、SF₆、H₂O等

揮發(fā)性有機(jī)物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、甲苯、二甲苯、甲醛等

氟利昂（CFCs）及全氟化碳（PFCs）:CF₄、C₂F₆、R-134a、R13等

腐蝕性氣體：HF、HCL、HCN等

其他氣體：N₂、H₂、O₂、氯氣等（可選、擴(kuò)展探頭）；

被測(cè)氣體可定制；